熱處理后的合金
可以看出,在兩種合金中,通過對(duì)其進(jìn)行熱處理,軟磁合金飽和磁通密度(Bs)增加。對(duì)于具有Fe 68.5 Ho 11.5 O 20.0的組成的本發(fā)明的合金膜,可以通過對(duì)其進(jìn)行熱處理來將飽和磁通密增加到程度。另外,從圖2可以看出。由圖1可知,本發(fā)明的合金膜的組成為Fe69.8Sm11.0O19.2時(shí),退火溫度為500℃。
此外,關(guān)于矯頑力(Hc),通過在400℃下進(jìn)行退火,可以使組成為Fe68.8Sm11.0O19.2的合金膜和組成為Fe68的合金膜中的矯頑力較小化。 .5 Ho11.5 O20.0。
因此,在300℃至600℃的溫度下進(jìn)行了退火的本發(fā)明的合金膜可以被認(rèn)為是其中飽和磁通密度高,矯頑力低且磁導(dǎo)率低,高比電阻在水平上得到平衡。
重要的是,通過在400℃的溫度下退火,具有Fe69.8Sm11.0O19.2的組成的合金膜表現(xiàn)出12.5kG的高飽和磁通密度,1.5Oe的低矯頑力,以及450μΩ.cm的高電阻率。具有Fe 68.5 Ho 11.5 5 O 20.0的組成的合金膜表現(xiàn)出11.4 kG的高飽和磁通密度,1.2 Oe的低矯頑力和772μΩ.cm的高電阻率,因此較好地實(shí)現(xiàn)。平衡,較好的高電阻軟磁性能。
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